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MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究

文献类型:期刊论文

作者李友布1; 梁勖1; 赵家敏1; 鲍健1
刊名激光技术
出版日期2013
卷号037
关键词激光技术 谐振充电 高精度 电压控制
ISSN号1001-3806
其他题名High precision voltage control for MOPA excimer laser
英文摘要为了减小激光器双腔放电时间的相对抖动、稳定激光器输出能量,采用闭环控制回路电压泄放方法,设计了一套主振荡功率放大结构准分子激光谐振充电高精度电压控制方案。通过对电容电压取样处理,动态监测储能电容电压,当电容电压大于目标电压时,由泄放电路泄放电压至目标值,得到高精度的充电电压,使用此电压控制方案后,充电电压的波动由±1.67%0减小到±0.83%0。结果表明,该方案很好地提高了谐振电源储能电容上的电压精度,减小了激光器双腔放电时间的相对抖动,并为后期的激光器能量输出稳定控制打下良好基础。
语种中文
CSCD记录号CSCD:4922810
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/58335]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位1.中国科学院安徽光学精密机械研究所
2.中国科学院安徽光学精密机械研究所
3.中国科学院安徽光学精密机械研究所
4.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李友布,梁勖,赵家敏,等. MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究[J]. 激光技术,2013,037.
APA 李友布,梁勖,赵家敏,&鲍健.(2013).MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究.激光技术,037.
MLA 李友布,et al."MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究".激光技术 037(2013).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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