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准分子激光技术发展（邀请论文）
文献类型：期刊论文
| 作者 | 余吟山2; 游利兵2 ; 梁勖2; 方晓东2
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 000 |
| 关键词 | 激光器 准分子激光技术 放电激励 光刻 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| 其他题名 | Progress of Excimer Lasers Technology（Invited Paper） |
| 英文摘要 | 介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功率技术、高重复频率技术、光束控制技术和激光电源技术等。分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展,介绍了准分子激光在工业、医疗和生产领域的应用。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4021012 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/93888]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 余吟山,游利兵,梁勖,等. 准分子激光技术发展（邀请论文）[J]. 中国激光,2010,000. |
| APA | 余吟山,游利兵,梁勖,&方晓东.(2010).准分子激光技术发展（邀请论文）.中国激光,000. |
| MLA | 余吟山,et al."准分子激光技术发展（邀请论文）".中国激光 000(2010). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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