0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵家敏2; 游利兵2 ; 余吟山2; 方晓东2
|
| 刊名 | 强激光与粒子束
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 025 |
| 关键词 | 准分子激光器 激光退火 大能量 磁脉冲压缩 |
| ISSN号 | 1001-4322 |
| 其他题名 | Characteristics of KrF excimer laser with an output energy of 0.73 J |
| 英文摘要 | 研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40 kV、脉冲上升时间约为100 ns的高压快脉冲激励.研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27 kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30 mm×14 mm,在充电电压23 kV时,全电效率最高,达到2.0％. |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4992943 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/94369]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵家敏,游利兵,余吟山,等. 0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性[J]. 强激光与粒子束,2013,025. |
| APA | 赵家敏,游利兵,余吟山,&方晓东.(2013).0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性.强激光与粒子束,025. |
| MLA | 赵家敏,et al."0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性".强激光与粒子束 025(2013). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。