全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 游利兵1 ; 程超1; 方晓东1
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| 刊名 | 强激光与粒子束
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| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 031 |
| 关键词 | 全固态高压脉冲电源 半导体光刻 准分子激光 磁开关 闸流管 |
| ISSN号 | 1001-4322 |
| 其他题名 | Application of all-solid-state high-voltage pulse power supply in semiconductor lithography light source |
| 英文摘要 | 简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压脉冲电源在光刻用准分子激光器和EUV光源中的应用。大功率半导体开关结合多级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源有效替代传统基于闸流管的高压脉冲电源,实现了光刻光源高重复频率下的长寿命运行。介绍了中国科学院安徽光学精密机械研究所近十年来,在准分子激光器的全固态高压脉冲电源研究上的相关进展。最后,对未来半导体光刻光源对全固态脉冲电源的需求进行了展望。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6475192 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/95059]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 游利兵,程超,方晓东. 全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用[J]. 强激光与粒子束,2019,031. |
| APA | 游利兵,程超,&方晓东.(2019).全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用.强激光与粒子束,031. |
| MLA | 游利兵,et al."全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用".强激光与粒子束 031(2019). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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