重复率激光的单个脉冲能量检测技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁勖1 ; 游利兵1; 余吟山1
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| 刊名 | 量子电子学报
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 027 |
| 关键词 | 激光技术 准分子激光 热释电 能量反馈 实时检测 |
| ISSN号 | 1007-5461 |
| 其他题名 | Excimer laser pulse energy detection under pulse repetition running mode |
| 英文摘要 | 介绍了一种基于热释电探头的准分子激光能量检测系统，实现了对0—200Hz重复率运行的准分子激光单个脉冲及多脉冲系列的能量实时检测。它由探头、放大、峰值保持、MCU、显示和通讯几部分组成，解决了闸流管放电强电磁干扰等难点，并在193nmArF和248nmKrF准分子激光器上进行了测试：响应时间4ms、分辨率10μJ、灵敏度0．5v／mJ、精度土3％。本系统既可作为能量计使用，也可以作为检测环节用于脉冲能量闭环稳定系统中，如采用响应速度更高的光电管，有望实现高重复率准分子激光光源的实时脉冲能量检测和稳定等技术。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3944881 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/95127]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁勖,游利兵,余吟山. 重复率激光的单个脉冲能量检测技术[J]. 量子电子学报,2010,027. |
| APA | 梁勖,游利兵,&余吟山.(2010).重复率激光的单个脉冲能量检测技术.量子电子学报,027. |
| MLA | 梁勖,et al."重复率激光的单个脉冲能量检测技术".量子电子学报 027(2010). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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