大气压等离子体射流装置及应用研究进展
文献类型:期刊论文
作者 | 李文浩1; 田朝1; 冯绅绅1; 宁付鹏1; 白超1; 尤江1; 侯吉磊1; 孟月东2![]() |
刊名 | 真空科学与技术学报
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出版日期 | 2018 |
卷号 | 038 |
关键词 | 大气压等离子体 等离子体射流 介质阻挡放电 电极结构 纳米薄膜沉积 |
ISSN号 | 1672-7126 |
其他题名 | Advance in Atmospheric Pressure Plasma Jet and Its Applications |
英文摘要 | 大气压等离子体射流(APPJ)能够在开放空间而不是在狭窄放电间隙中产生高活性非平衡低温等离子体,APPJ已经成为国际上等离子体科学与技术领域的研究热点之一。本文首先介绍了4种典型的等离子体射流装置,包括单针、针-环、单双环以及微腔结构,并分析了各自的结构特点。然后介绍了APPJ近几年的研究进展,包括射流装置结构、活性粒子探测方法、射流与外界物质相互作用及应用等方面。最后对APPJ面临的一些关键问题和发展方向进行了展望。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:6310106 |
源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/95166] ![]() |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
作者单位 | 1.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 2.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 3.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 4.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 5.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 6.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 7.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 8.中国科学院等离子体物理研究所 9.中国科学技术大学中国科学技术大学近代物理系 10.合肥工业大学,机械工程学院真空与过程装备系 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文浩,田朝,冯绅绅,等. 大气压等离子体射流装置及应用研究进展[J]. 真空科学与技术学报,2018,038. |
APA | 李文浩.,田朝.,冯绅绅.,宁付鹏.,白超.,...&方应翠.(2018).大气压等离子体射流装置及应用研究进展.真空科学与技术学报,038. |
MLA | 李文浩,et al."大气压等离子体射流装置及应用研究进展".真空科学与技术学报 038(2018). |
入库方式: OAI收割
来源:合肥物质科学研究院
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