MEMS技术检测痕量爆炸物微粒的原理与实验方法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张彦1; 梅涛1 ; 孔德义1; 张成梅1; 付国强1; 胡圣军1
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 040 |
| 关键词 | MEMS技术 爆炸物微粒 微梁式爆炸物探测器 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 其他题名 | Research on principle and experiments of trace explosive particle detection with MEMS |
| 英文摘要 | 提出一种基于MEMS技术、利用爆炸物微粒本身特性来检测爆炸物的新型微梁式爆炸物探测器，这种探测器利用不同爆炸物具有不同的溶点及蒸发点，并且在熔解过程中吸收热量的原理，使落在悬臂梁上的痕量爆炸物微粒在蒸发时的热量变化可以通过梁的弯曲变形反映出来，其中复合双金属悬臂梁是利用MEMS工艺制造的，还介绍了探测器的结构设计，悬臂梁弯曲变形的理论计算及技术实现方案探讨等前沿探索性研究工作。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1455691 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/95208]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院合肥智能机械研究所 2.中国科学院合肥智能机械研究所 3.中国科学院合肥智能机械研究所 4.中国科学院合肥智能机械研究所 5.中国科学院合肥智能机械研究所 6.中国科学院合肥智能机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张彦,梅涛,孔德义,等. MEMS技术检测痕量爆炸物微粒的原理与实验方法研究[J]. 微纳电子技术,2003,040. |
| APA | 张彦,梅涛,孔德义,张成梅,付国强,&胡圣军.(2003).MEMS技术检测痕量爆炸物微粒的原理与实验方法研究.微纳电子技术,040. |
| MLA | 张彦,et al."MEMS技术检测痕量爆炸物微粒的原理与实验方法研究".微纳电子技术 040(2003). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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