双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵家敏1; 高健2; 梁勖1 ; 王效顺1; 游利兵1; 王庆胜1; 余吟山1; 方晓东1
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| 刊名 | 激光技术
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 037 |
| 关键词 | 激光技术 充电电源 谐振 高重频 高精度 准分子激光 |
| ISSN号 | 1001-3806 |
| 其他题名 | Study on pulse charge power for a dual-chamber excimer laser |
| 英文摘要 | 为了满足工业用振荡一放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求，设计了高重频高精度的脉冲充电电源。该电源采用LC谐振倍压的方式，同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电，倍压比为1．87。通过对电源工作时序的调节，实现千赫兹高重频放电激励，在电源输出电压约为1300V时，充电电压精度为±0．18％。结果表明，通过充电电压精度控制单元，对充电电压反馈调节，可以实现充电电压的高精度。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4732464 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/96052]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.合肥工业大学电子科学与应用物理学院 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 5.中国科学院安徽光学精密机械研究所 6.中国科学院安徽光学精密机械研究所 7.中国科学院安徽光学精密机械研究所 8.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵家敏,高健,梁勖,等. 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究[J]. 激光技术,2013,037. |
| APA | 赵家敏.,高健.,梁勖.,王效顺.,游利兵.,...&方晓东.(2013).双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究.激光技术,037. |
| MLA | 赵家敏,et al."双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究".激光技术 037(2013). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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