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W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6%Co上的附着力的影响

文献类型:期刊论文

作者王传新1; 汪建华1; 满卫东1; 马志斌1; 王升高1; 康志成2
刊名高压物理学报
出版日期2004
卷号018
关键词复合材料 微波等离子体化学气相沉积装置 金刚石薄膜 附着力 钨过渡层
ISSN号1000-5773
其他题名Effects of W Diffusion Barrier Layer for Diamond Coatings Deposited on WC-Co Substrates
英文摘要在微波等离子体化学气相沉积装置中,采用负偏压形核等方法,研究两种不同的W过渡层/基体结合界面对金刚石薄膜与WC—6%Co附着力的影响。采用氢等离子体脱碳、磁控溅射镀W、高偏压碳化等方法,在YG6衬底表面形成化学反应型界面,W膜在碳化时和基体WC连为一体,极大地增加了W膜与基体的附着力,明显优于直接镀钨、碳化形成的物理吸附界面。在高负偏压下碳化,能提高表面粗糙度,增加膜与基体机械钳合,而负偏压形核增加核密度,从而增加膜与基体的接触面积,结果极大地提高了金刚石薄膜的附着力。
语种中文
CSCD记录号CSCD:1510975
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/96424]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位1.武汉化工学院
2.武汉化工学院
3.武汉化工学院
4.武汉化工学院
5.武汉化工学院
6.中国科学院等离子体物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王传新,汪建华,满卫东,等. W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6%Co上的附着力的影响[J]. 高压物理学报,2004,018.
APA 王传新,汪建华,满卫东,马志斌,王升高,&康志成.(2004).W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6%Co上的附着力的影响.高压物理学报,018.
MLA 王传新,et al."W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC—6%Co上的附着力的影响".高压物理学报 018(2004).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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