准分子激光微加工应用研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何立文2; 方晓东1
|
| 刊名 | 量子电子学报
 |
| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 035 |
| 关键词 | 激光技术 准分子激光微加工 集成芯片3D封装 微机电系统材料微加工 |
| ISSN号 | 1007-5461 |
| 其他题名 | Progress of application of excimer laser micromachining |
| 英文摘要 | 准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区（Heat affected zone, HAZ）,有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景。介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统（Micro-electro-mechanical system, MEMS）材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6374018 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/97180]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.合肥工业大学电子科学与应用物理学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何立文,方晓东. 准分子激光微加工应用研究进展[J]. 量子电子学报,2018,035. |
| APA | 何立文,&方晓东.(2018).准分子激光微加工应用研究进展.量子电子学报,035. |
| MLA | 何立文,et al."准分子激光微加工应用研究进展".量子电子学报 035(2018). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。