低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 罗云2; 陈晓怀2; 谢远来3
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| 刊名 | 低温与超导
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| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 000 |
| 关键词 | 不确定度 抽速 抽气性能 低温泵 |
| ISSN号 | 1001-7100 |
| 其他题名 | On the uncertainty of pumping speed for pumping performance test platform of cryopump |
| 英文摘要 | 抽速是决定低温泵抽气性能的关键参数，高质量的抽速测试结果可有效指导低温泵的工程设计与实验运行。介绍了低温泵抽气性能测试平台的组成和抽速测量的基本原理，分析了压力和充气量的不确定度分量来源，研究了各不确定度分量的估计与合成，确定了低温泵的抽速测量不确定度，给出了抽速测量结果的完整表述，探讨了降低抽速测量不确定度、提高测量结果质量所采取的措施。研究结果对合理配置低温泵抽气性能测试平台、优化实验方案、提高抽速测量结果可靠性有指导意义。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3544097 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/97539]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院等离子体物理研究所 2.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 3.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗云,陈晓怀,谢远来. 低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究[J]. 低温与超导,2009,000. |
| APA | 罗云,陈晓怀,&谢远来.(2009).低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究.低温与超导,000. |
| MLA | 罗云,et al."低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究".低温与超导 000(2009). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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