Mn／6H-SIC（0001）界面的同步辐射光电子能谱研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 武煜宇2; 刘金锋3; 孙柏4; 刘忠良2; 徐彭寿2; 陈秀芳1; 徐现刚1 |
| 刊名 | 核技术
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 031 |
| 关键词 | 同步辐射 光电子能谱 欧姆接触 Mn／SiC |
| ISSN号 | 0253-3219 |
| 其他题名 | Synchrotron-radiation photoelectron spectroscopy study on Mn/6H-SiC（0001） interface |
| 英文摘要 | 本文利用同步辐射光电子能谱（SRPES）和X射线光电子能谱（XPS）对金属Mn在6H—SiC（0001）表面的生长模式和Mn／6H-SiC（0001）界面进行了研究。实验结果表明，常温下金属Mn在6H—SiC（0001）表面上表现为二维层状生长模式。随着金属Mn沉积膜厚的增加，样品表面金属性明显增强。沉积过程中，金属Mn并未与SiC衬底发生反应，界面间由于能带弯曲导致费米能级向下移动，并计算出肖特基势垒高度（SBH）大约为1．79eV。当沉积膜厚达到2nm后，样品于250℃退火导致金属Mn向衬底扩散，但未与衬底发生反应。样品于500℃退火后界面间形成Mn的硅化物。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3437904 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/99563]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学技术大学 2.中国科学技术大学 3.中国工程物理研究院流体物理研究所 4.中国科学院合肥智能机械研究所 5.中国科学技术大学 6.山东大学 7.山东大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武煜宇,刘金锋,孙柏,等. Mn／6H-SIC（0001）界面的同步辐射光电子能谱研究[J]. 核技术,2008,031. |
| APA | 武煜宇.,刘金锋.,孙柏.,刘忠良.,徐彭寿.,...&徐现刚.(2008).Mn／6H-SIC（0001）界面的同步辐射光电子能谱研究.核技术,031. |
| MLA | 武煜宇,et al."Mn／6H-SIC（0001）界面的同步辐射光电子能谱研究".核技术 031(2008). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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