基于可控LC串联谐振的高重频高精度脉冲充电电源
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁勖1 ; 赵读亮1; 林颖1; 方晓东1
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| 刊名 | 高电压技术
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| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 044 |
| 关键词 | 脉冲电源 串联谐振 准分子激光 高重频 高精度 |
| ISSN号 | 1003-6520 |
| 其他题名 | High Repetition Rate and High Accuracy Capacitor Charging Pulse Power Supply Based on Controllable LC Series Resonance |
| 英文摘要 | 针对集成电路光刻用准分子激光光源的高重复频率、高精度和高稳定脉冲充电应用需求,设计了一种基于可控LC串联谐振的脉冲充电电源,采用实时检测电路总能量、短路电感中断谐振过程和储能电容精准泄放的技术方案,实现了输出的高重频、高精度以及每脉冲充电电压精确可调。对该充电电源的工作过程进行了理论分析,研究了系统的要点和难点,完成样机并与高重频准分子激光系统联机运行。在激光器初级储能电容5.44μF的条件下,实现了最大充电电压1.92 kV、充电重复频率4 kHz、充电电压精度〈0.05%的输出特性,系统的能量传输率达到40 kJ/s,各项指标均满足集成电路光刻用准分子激光光源的实际应用需求。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6330070 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/100216]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁勖,赵读亮,林颖,等. 基于可控LC串联谐振的高重频高精度脉冲充电电源[J]. 高电压技术,2018,044. |
| APA | 梁勖,赵读亮,林颖,&方晓东.(2018).基于可控LC串联谐振的高重频高精度脉冲充电电源.高电压技术,044. |
| MLA | 梁勖,et al."基于可控LC串联谐振的高重频高精度脉冲充电电源".高电压技术 044(2018). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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