准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱能伟1; 方晓东1 ; 梁勖1; 赵读亮1
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| 刊名 | 激光技术
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| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 041 |
| 关键词 | 光学器件 激光器 电场分布 数值仿真 紧凑型张氏面型电极 |
| ISSN号 | 1001-3806 |
| 其他题名 | Simulation study on electric field of Chang electrodes in excimer lasers |
| 英文摘要 | 为了获得准分子激光器高脉冲能量输出,采用张氏面型电极的理论,设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极.通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布,并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证;分析了紫外火花预电离结构对电极放电的影响,并进行了电位和电场分布仿真.结果表明,预电离板的存在直接影响了电极之间的电位和电场分布;电场仿真结果解释了预电离板的顶端与阳极形成放电的原因.该研究为大面积辉光放电电极设计提供了更深入的理论支持. |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6069745 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/100534]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱能伟,方晓东,梁勖,等. 准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究[J]. 激光技术,2017,041. |
| APA | 朱能伟,方晓东,梁勖,&赵读亮.(2017).准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究.激光技术,041. |
| MLA | 朱能伟,et al."准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究".激光技术 041(2017). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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