用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张威1; 方晓东1 ; 梁勖1
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| 刊名 | 量子电子学报
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| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 035 |
| 关键词 | 激光技术 准分子激光 光纤布拉格光栅 相位掩模 小型化 |
| ISSN号 | 1007-5461 |
| 其他题名 | Experiment research of compact excimer laser for writing FBG |
| 英文摘要 | 248 nm的KrF准分子激光是光纤布拉格光栅（FBG）的首选刻蚀光源。针对FBG的刻写要求,研制了一台小型化KrF准分子激光器,并进行了机械结构设计和改进。实验研究了充电电压、放电电容、工作气体配比和储气腔内的气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化了激光器性能,输出的重复频率达200 Hz,单脉冲输出能量达16 mJ,能量不稳定度小于2%,输出窗口附近的近场光斑尺寸为6 mm×3 mm,最高输出效率为1.24%。用该激光器作为光源采用相位掩模法进行了FBG刻写的实验,效果良好。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6246579 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/100729]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张威,方晓东,梁勖. 用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究[J]. 量子电子学报,2018,035. |
| APA | 张威,方晓东,&梁勖.(2018).用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究.量子电子学报,035. |
| MLA | 张威,et al."用于FBG刻写的小型准分子激光器实验研究".量子电子学报 035(2018). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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