用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张威1; 梁勖1 ; 陶汝华1; 方晓东1
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| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2016 |
| 卷号 | 045 |
| 关键词 | 准分子激光器 气体配比 输出能量 输出效率 光纤布拉格光栅 |
| ISSN号 | 1007-2276 |
| 其他题名 | Research of compact excimer laser for producing FBG |
| 英文摘要 | 248 nm的Kr F准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用。研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术。通过研究充电电压、工作气体配比和总的工作气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化激光器的性能;并对光斑均匀性、光束发散角和能量稳定性进行了测试和计算。该准分子激光器的重复频率为1~50 Hz,最高输出效率达2.0%,单脉冲输出能量最高达360 m J,当工作电压不低于24 k V时,激光输出能量不稳定度小于1.8%。用该激光器作为光源采用静态相位掩模法在光纤内刻写布拉格光栅,并对刻写结果进行分析和讨论。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:5631339 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/100747]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张威,梁勖,陶汝华,等. 用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究[J]. 红外与激光工程,2016,045. |
| APA | 张威,梁勖,陶汝华,&方晓东.(2016).用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究.红外与激光工程,045. |
| MLA | 张威,et al."用于制作FBG的紧凑型准分子激光器的研究".红外与激光工程 045(2016). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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