高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王效顺1; 梁勖1 ; 游利兵1; 赵家敏1; 方晓东1
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| 刊名 | 激光技术
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 036 |
| 关键词 | 激光器 能量稳定 比例积分算法 高重复频率 ArF准分子激光器 |
| ISSN号 | 1001-3806 |
| 其他题名 | Study on energy control algorithm for high-repetition-rate ArF excimer lasers |
| 英文摘要 | 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定，从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理，使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型，提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法，并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明，建立的脉冲能量模型是合理的，且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4666844 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/100779]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 5.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王效顺,梁勖,游利兵,等. 高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究[J]. 激光技术,2012,036. |
| APA | 王效顺,梁勖,游利兵,赵家敏,&方晓东.(2012).高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究.激光技术,036. |
| MLA | 王效顺,et al."高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究".激光技术 036(2012). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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