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纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展

文献类型:期刊论文

作者戴正飞1; 李越1; 蔡伟平1
刊名物理
出版日期2014
卷号43
关键词薄膜 气敏传感器 纳米结构
ISSN号0379-4148
其他题名Nano-structured thin film gas sensors
英文摘要薄膜型气敏器件对气体具有探测灵敏度高、响应时间快、制备成本较低、易于小型化等特点,并且适于制备微型传感器,因此成为近年来传感器研究的重点。将纳米结构材料制作成薄膜型气敏传感器,具有常规传感器不可替代的优点:纳米结构构成的固体材料具有庞大的界面,提供了大量气体通道,从而大幅度提高了灵敏度和降低了工作温度,并可缩小传感器的尺寸。文章主要介绍了当前国内外纳米结构薄膜型气敏传感器的研究现状,概述了几种常见的纳米结构单元薄膜的气敏特性,扼要地分析了今后纳米薄膜型传感器的研究趋势。
语种中文
CSCD记录号CSCD:5161394
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/101229]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位1.中国科学院合肥物质科学研究院
2.中国科学院合肥物质科学研究院
3.中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
戴正飞,李越,蔡伟平. 纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展[J]. 物理,2014,43.
APA 戴正飞,李越,&蔡伟平.(2014).纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展.物理,43.
MLA 戴正飞,et al."纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展".物理 43(2014).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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