氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邵景珍3; 王玺1; 胡红涛3; 方晓东3
|
| 刊名 | 激光与光电子学进展
 |
| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 54 |
| 关键词 | 激光技术 薄膜 准分子激光退火 有限元分析 热效应 |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| 其他题名 | Thermal Effect Simulation Analysis on Excimer Laser Annealingof Zinc Oxide Thin Films |
| 英文摘要 | 基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温度场的影响。模拟结果表明,ZnO薄膜的准分子激光退火具有急热骤冷特性,ZnO薄膜表面温度与激光能量密度呈线性增长关系,表面热熔融阈值为261mJ/cm~2。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6022926 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/101913]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.电子工程学院 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邵景珍,王玺,胡红涛,等. 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析[J]. 激光与光电子学进展,2017,54. |
| APA | 邵景珍,王玺,胡红涛,&方晓东.(2017).氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析.激光与光电子学进展,54. |
| MLA | 邵景珍,et al."氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析".激光与光电子学进展 54(2017). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。