射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李立2; 刘峰3 ; 柴立全2; 王娟2; 孟月冬3; 任兆杏3
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| 刊名 | 中国民航学院学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 24 |
| 关键词 | 射频磁控溅射 Cr/CrN多层薄膜 微结构 纳米硬度 内应力 |
| ISSN号 | 1001-5000 |
| 其他题名 | Study on Microstructure and Mechanical Properties of Cr/CrN Multilayered Films Prepared by RF Magnetron Sputtering |
| 英文摘要 | 利用射频磁控溅射制备了Cr/CrN多层薄膜,并对比单层CrN薄膜,分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的关系.研究结果表明:多层膜中没有出现柱状晶体结构,而且结晶取向与单层CrN有显著区别;多层膜的应力普遍小于单层CrN,硬度略高于或接近于单层CrN,在外力作用下的抗变形能力远高于单层CrN;多层膜的应力和硬度随周期厚度的减小而增大,在周期15 nm时硬度值达到最大23.8 GPa,表明Cr/CrN多层膜的硬度与周期结果有关,而且存在使薄膜性能达到最佳的周期值. |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2559324 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/102695]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国民航大学理学院 2.中国民航大学理学院 3.中国科学院等离子体物理研究所 4.中国民航大学基础实验中心 5.中国科学院等离子体物理研究所 6.中国科学院等离子体物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李立,刘峰,柴立全,等. 射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究[J]. 中国民航学院学报,2006,24. |
| APA | 李立,刘峰,柴立全,王娟,孟月冬,&任兆杏.(2006).射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究.中国民航学院学报,24. |
| MLA | 李立,et al."射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究".中国民航学院学报 24(2006). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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