用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡芸菲 ; 沈辉 ; 王磊 ; 邹禧武 ; 班群 ; 梁宗存 ; 刘正义 ; 闻立时 |
| 刊名 | 华南理工大学学报：自然科学版
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 33期号:7页码:28-31 |
| 合作状况 | 其它 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-12-10 ; 2010-10-15 |
| 源URL | [http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/461]  |
| 专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡芸菲,沈辉,王磊,等. 用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量[J]. 华南理工大学学报：自然科学版,2005,33(7):28-31. |
| APA | 胡芸菲.,沈辉.,王磊.,邹禧武.,班群.,...&闻立时.(2005).用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量.华南理工大学学报：自然科学版,33(7),28-31. |
| MLA | 胡芸菲,et al."用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量".华南理工大学学报：自然科学版 33.7(2005):28-31. |
入库方式： OAI收割
来源：广州能源研究所
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