用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法
文献类型:专利
作者 | 强鹏飞; 盛立志; 闫永清; 李林森; 刘哲; 周晓红; 刘永安; 赵宝升 |
发表日期 | 2019-01-24 |
专利号 | CN201910068152.8 |
著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求,保证较高的装调精度,本发明提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组;光学平台置于激光器上方;转台位于光学平台上方;第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上,中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架,第一五棱镜调节架固定设置在转台上;装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架,第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上;参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架,第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。 |
公开日期 | 2019-04-26 |
申请日期 | 2019-01-24 |
语种 | 中文 |
状态 | 申请中 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93834] |
专题 | 西安光学精密机械研究所_光电子学研究室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 强鹏飞,盛立志,闫永清,等. 用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法. CN201910068152.8. 2019-01-24. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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