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一种纹影法焦斑动态范围的标定装置及方法

文献类型:专利

作者李红光; 段亚轩; 袁索超; 陈永权; 王璞; 李铭; 达争尚; 董晓娜
发表日期2019-04-03
专利号CN201910266590.5
著作权人中国科学院西安光学精密机械研究所
产权排序1
英文摘要本发明属于焦斑动态范围标定领域,涉及一种纹影法焦斑动态范围的标定装置及方法,能够完成高功率激光远场焦斑的动态范围标定。标定装置包括激光光源及沿激光光源出射光路依次设置的准直物镜与一维正弦相位光栅;准直物镜将激光光源输出的激光扩束为直径为的光斑;一维正弦相位光栅对直径为的光斑进行调制后产生一系列不同衍射级次的光斑;在一系列不同衍射级次的光斑中,至少能够找到一个衍射级次的光斑,其峰值能量与0衍射级次光斑峰值能量的比值小于等于1:104。将一系列不同衍射级次的光斑注入到“纹影法”远场焦斑诊断系统,在诊断系统内通过分光模块分别进入到“旁瓣”测量光路和“主瓣”测量光路,进行诊断系统的动态范围标定。
申请日期2019-04-03
语种中文
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93875]  
专题西安光学精密机械研究所_先进光学仪器研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
李红光,段亚轩,袁索超,等. 一种纹影法焦斑动态范围的标定装置及方法. CN201910266590.5. 2019-04-03.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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