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大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究

文献类型:期刊论文

作者杨国永; 熊绍阳; 鲁云祥; 王博; 易剑; 江南
刊名硬质合金
出版日期2020-10-15
卷号37期号:05页码:350-356
关键词MPCVD 金刚石膜 大尺寸 自支撑 散热材料 红外窗口材料
英文摘要###################################
源URL[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/18855]  
专题2020专题_期刊论文
2020专题
作者单位中国科学院宁波材料技术与工程研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
杨国永,熊绍阳,鲁云祥,等. 大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究[J]. 硬质合金,2020,37(05):350-356.
APA 杨国永,熊绍阳,鲁云祥,王博,易剑,&江南.(2020).大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究.硬质合金,37(05),350-356.
MLA 杨国永,et al."大尺寸自支撑金刚石膜制备工艺及其红外透过性能研究".硬质合金 37.05(2020):350-356.

入库方式: OAI收割

来源:宁波材料技术与工程研究所

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