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一种平面三自由度精密定位平台

文献类型:专利

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作者杨淼; 杨桂林; 张驰; 余宏涛; 黄晓路; 桑娜
发表日期2020-08-25
申请日期2019-12-10
源URL[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/20844]  
专题宁波材料技术与工程研究所_专利成果
作者单位中国科学院宁波材料技术与工程研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
杨淼,杨桂林,张驰,等. 一种平面三自由度精密定位平台, 一种平面三自由度精密定位平台, 一种平面三自由度精密定位平台, 一种平面三自由度精密定位平台, 一种平面三自由度精密定位平台, 一种平面三自由度精密定位平台, 一种平面三自由度精密定位平台, 一种平面三自由度精密定位平台. 2020-08-25.

入库方式: OAI收割

来源:宁波材料技术与工程研究所

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