一种真空镀膜装置
文献类型：专利
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| 作者 | 郭武明; 王海新; 蒲吉斌; 王立平; 张学东; 郑文茹; 吴斌 |
| 发表日期 | 2019-09-20 |
| 申请日期 | 2019-01-16 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/20990]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 作者单位 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭武明,王海新,蒲吉斌,等. 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置, 一种真空镀膜装置. 2019-09-20. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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