高通量CVD装置
文献类型：专利
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| 作者 | 邬苏东; 汪晓平; 杨熹; 叶继春; 张欢; 项晓东; 盛江 |
| 发表日期 | 2019-03-22 |
| 申请日期 | 2018-05-18 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/21030]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_专利成果 |
| 作者单位 | 1.中国科学院宁波材料技术与工程研究所 2.宁波英飞迈材料科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邬苏东,汪晓平,杨熹,等. 高通量CVD装置, 高通量CVD装置, 高通量CVD装置, 高通量CVD装置, 高通量CVD装置, 高通量CVD装置, 高通量CVD装置, 高通量CVD装置. 2019-03-22. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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