利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 魏徐兵1,2; 尚伦霖1; 鲁志斌1,2 ; 张广安1,2
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| 刊名 | 真空与低温
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| 出版日期 | 2020-10 |
| 卷号 | 26期号:5页码:402-409 |
| 关键词 | 等离子体增强化学气相沉积 超厚类金刚石碳膜 快速沉积 耐磨损 耐腐蚀 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.licp.cn/handle/362003/26863]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 通讯作者 | 张广安 |
| 作者单位 | 1.中国科学院兰州化学物理研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏徐兵,尚伦霖,鲁志斌,等. 利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术[J]. 真空与低温,2020,26(5):402-409. |
| APA | 魏徐兵,尚伦霖,鲁志斌,&张广安.(2020).利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术.真空与低温,26(5),402-409. |
| MLA | 魏徐兵,et al."利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术".真空与低温 26.5(2020):402-409. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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