沉积工艺参数对电弧离子镀...
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵彦辉; 史文博; 刘忠海; ... |
| 刊名 | 真空与低温
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| 出版日期 | 2020 |
| 卷号 | 26期号:05页码:385-391 |
| 关键词 | 电弧离子镀 沉积速率 ... |
| 英文摘要 | 阴极电弧离子镀技术作为工... |
| 源URL | [http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/82167]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院金属研究所材料... |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵彦辉,史文博,刘忠海,等. 沉积工艺参数对电弧离子镀...[J]. 真空与低温,2020,26(05):385-391. |
| APA | 赵彦辉,史文博,刘忠海,&....(2020).沉积工艺参数对电弧离子镀....真空与低温,26(05),385-391. |
| MLA | 赵彦辉,et al."沉积工艺参数对电弧离子镀...".真空与低温 26.05(2020):385-391. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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