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以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示

文献类型:期刊论文

作者余江; 刘佳丽; 甘泉; 李世光; 张越
刊名中国科学院院刊
出版日期2020-01-20
卷号35期号:01页码:112-117
关键词重大原始创新 国家战略科技力量 新一代光刻技术 创新策源地
源URL[http://ir.casisd.cn/handle/190111/9727]  
专题中国科学院科技战略咨询研究院
产业科技创新研究部
作者单位1.中国科学院微电子研究所
2.中国科学院发展规划局
3.中国科学院大学公共政策与管理学院
4.中国科学院科技战略咨询研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
余江,刘佳丽,甘泉,等. 以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示[J]. 中国科学院院刊,2020,35(01):112-117.
APA 余江,刘佳丽,甘泉,李世光,&张越.(2020).以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示.中国科学院院刊,35(01),112-117.
MLA 余江,et al."以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示".中国科学院院刊 35.01(2020):112-117.

入库方式: OAI收割

来源:科技战略咨询研究院

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