磁控溅射Fe-N薄膜的微结构研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 詹倩 ; 贺连龙 ; 李斗星 |
| 出版日期 | 2002-08-19 |
| 会议名称 | 第十二届全国电子显微学会议 |
| 会议日期 | 2002-08-19 |
| 会议地点 | 太原 |
| 关键词 | 磁头材料 磁控溅射 Fe-N薄膜 薄膜微结构 电镜观察 |
| 中文摘要 | 本文采用反应射频磁控溅射沉积技术合成Fe-N薄膜,并利用电镜观察研究其微观结构,为进一步优化性能提供依据. |
| 会议主办者 | 中国物理学会 |
| 会议录 | 电子显微学报第21卷第5期
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| 会议录出版者 | 《电子显微学报》编辑部 |
| 会议录出版地 | 北京 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/70035]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 詹倩,贺连龙,李斗星. 磁控溅射Fe-N薄膜的微结构研究[C]. 见:第十二届全国电子显微学会议. 太原. 2002-08-19. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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