电弧离子镀沉积Al-O-N高温扩散阻挡层的研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 王启民 ; 武颖娜 ; 柯培玲 ; 孙超 ; 黄荣芳 ; 闻立时 |
| 出版日期 | 2003-09-01 |
| 会议名称 | 第十届全国高温合金年会 |
| 会议日期 | 2003-09-01 |
| 会议地点 | 北京 |
| 关键词 | 扩散阻挡层 电弧离子镀 DSM11合金 NiCoCrAlY涂层 Al-O-N薄膜 |
| 中文摘要 | 采用电弧离子镀技术在DSM11合金与NiCoCrAlY涂层间沉积Al-O-N高温扩散阻挡层薄膜,研究了不同O<,2>、N<,2>流量对Al-O-N薄膜相结构的影响及高温下Al-O-N薄膜阻挡合金元素互扩散的行为.实验结果表明,电弧离子膜法沉积的Al-O-N薄膜为多晶膜,具有α-Al<,2>O<,3>+六方AlN的相结构,随着N<,2>的增加,AlN相的含量增加.在1050℃下氧化100h后,Al-O-N层能有效阻挡DSM11合金中的Ti元素向外扩散,扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大. |
| 会议主办者 | 中国金属学会 |
| 会议录 | 钢铁研究学报2003第7期
 |
| 会议录出版者 | 《钢铁研究学报》编辑部 |
| 会议录出版地 | 北京 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/70138]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王启民,武颖娜,柯培玲,等. 电弧离子镀沉积Al-O-N高温扩散阻挡层的研究[C]. 见:第十届全国高温合金年会. 北京. 2003-09-01. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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