Rochow反应合成有机硅单体这一生产技术的发明，大大促进了有机硅工业的快速发展。国内外生产有机硅单体主要产物为二甲基二氯硅烷，其他副产物如三甲基氯硅烷产量较少，尤其是二甲基一氯硅烷几乎没有。但是，我们的生产装置通过独特的设计，生产二甲基二氯硅烷的同时可产出大量高纯度的三甲基氯硅烷和二甲基一氯硅烷。因此，利用三甲基氯硅烷和二甲基一氯硅烷进行合成及应用研究，对实现其利用价值有很重要的意义。本文分别从三甲基氯硅烷和二甲基一氯硅烷出发合成了六甲基二硅氧烷、六甲基二硅氮烷以及四(二甲基硅氧基)硅烷，并且通过正交实验均筛选出了最佳反应条件。三甲基氯硅烷水解制备六甲基二硅氧烷的最优工艺条件为：反应温度25℃、反应时间30min、水:三甲基氯硅烷体积比1:1、0.40molNaOH；三甲基氯硅烷进行氨化反应制备六甲基二硅氮烷的最优工艺条件为：三甲基氯硅烷:六甲基二硅氧烷体积比1:5、反应温度35℃、反应时间4h、NaOH浓度0.40mol/L；利用二甲基一氯硅烷制备四(二甲基硅氧基)硅烷的最佳工艺条件为：反应温度20℃、反应时间2.5h、四氯化硅和二甲基一氯硅烷摩尔比1:7.5、四氯化硅和水摩尔比1:5。通过重复最佳工艺条件验证了上述实验均有较好的重复性和稳定性。