尖晶石结构的Mn-Co-Ni-O基材料具备丰富的物理性质，是一类市场占有率较高的负温度系数(NTC)热敏电阻材料。在实际应用中，超薄超轻、快响应的元件成为需求之一，因此研究人员对 Mn-Co-Ni-O基薄膜材料在制备方法及结构、光学和电学性质等方面进行了系统的研究。但Mn-Co-Ni-O基薄膜材料在高温范围的性质和应用的研究，还需要进一步的探索。本文以尖晶石结构的Mn1.56Co0.96Ni0.48O4为基础材料，制备出Mn-Co-Ni-(Al、Mg)-O系列薄膜以及与钙钛矿结构SrMnO3复合的薄膜的前驱体化学溶液，然后将前驱体溶液沉积在硅衬底上形成薄膜，并将所得薄膜于750 ℃空气气氛的管式炉中退火1 h。通过对不同体系薄膜进行相结构、表面微观形貌、光学与电学性质的表征，详细分析了离子掺杂、结构优化对其光学和电学性能的影响。主要研究结果如下：1、采用化学溶液沉积法制备Mn-Co-Al/Mg-Ni-O四元薄膜。Mn-Co-Al-Ni-O系薄膜中，Al含量的增加使样品的平均粒径减小；薄膜经过150 ℃恒温老化处理300 h后表面的孔洞数目减少，且Al含量越多影响越大。表面颗粒致密均匀的Mn1.56(Co0.9Al0.1)0.96Ni0.48O4薄膜样品在老化处理前后表面阳离子分布几乎不变，且室温电阻漂移率最小，即表现得最稳定。在可见光范围(380-780 nm)内，Mn-Co-Al-Ni-O系薄膜经过老化处理后折射率和光吸收强度都有所增大。Mn-Co-Mg-Ni-O系薄膜在300-850 nm的光谱范围内的折射率随波长的增大呈增大趋势，在700-800 nm间出现较强的光吸收。其中，Mn1.56(Co0.8Mg0.2)0.96Ni0.48O4薄膜表面最光滑，粒子大小均匀；而Mn1.56(Co0.6Mg0.4)0.96Ni0.48O4薄膜将材料的热敏常数B25/50值提升至4577 K。2、采用化学溶液沉积法制备Mn-Co-Al-Mg-Ni-O五元系薄膜，通过对比四元系薄膜的微观形貌图，五元系薄膜表面颗粒细小均匀且排列较紧密。其中，Mn1.56(Co0.5Al0.1Mg0.4)0.96Ni0.48O4薄膜具有最高B25/50值5794 K。3、采用化学溶液沉积法制备[Mn1.56Co0.96Ni0.48O4]1-x[SrMnO3]x (x=0、0.1、0.3、0.5)系列的尖晶石-钙钛矿复合结构薄膜。随着钙钛矿相含量的增加，薄膜表面的链条-沟壑结构逐渐被填充，变为小孔洞均匀分布，椭圆偏振光谱显示薄膜的光吸收增强。 [Mn1.56Co0.96Ni0.48O4]0.5[SrMnO3]0.5在复合结构薄膜样品中具有最大的热敏常数B25/50值5390 K。