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发射极尺寸对双多晶自对准双极晶体管剂量率效应的影响

文献类型:期刊论文

作者刘默寒; 陆妩; 贾金成; 施炜雷; 王信; 李小龙; 孙静; 郭旗; 吴雪; 张培健
刊名核技术
出版日期2018
卷号41期号:11页码:48-52
关键词双多晶自动准 NPN晶体管 发射极尺寸 剂量率效应
ISSN号0253-3219
英文摘要

为了研究发射极尺寸对双多晶自对准NPN型双极晶体管电离辐射剂量率效应的影响,对不同发射极尺寸双多晶自对准NPN双极晶体管在高低剂量率辐照条件下进行了辐照实验,在实验数据基础上对其损伤特性以及损伤机理进行的分析表明,高低剂量率辐照下双多晶自对准工艺制备的NPN型双极晶体管都具有良好的抗电离辐照损伤能力,且低剂量率辐照损伤均大于高剂量率。同时,实验及理论分析结果都表明:双多晶自对准双极晶体管的抗辐照能力与发射极的周长面积比密切相关,发射极周长面积比越小,晶体管抗辐照能力越强,且在发射极宽度一定时,发射极条越长抗辐照能力越强。

源URL[http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/7260]  
专题新疆理化技术研究所_中国科学院特殊环境功能材料与器件重点试验室
作者单位1.模拟集成电路国家重点实验室
2.中国科学院大学
3.中国科学院新疆理化技术研究所
4.新疆电子信息材料与器件重点实验室
5.中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
刘默寒,陆妩,贾金成,等. 发射极尺寸对双多晶自对准双极晶体管剂量率效应的影响[J]. 核技术,2018,41(11):48-52.
APA 刘默寒.,陆妩.,贾金成.,施炜雷.,王信.,...&张培健.(2018).发射极尺寸对双多晶自对准双极晶体管剂量率效应的影响.核技术,41(11),48-52.
MLA 刘默寒,et al."发射极尺寸对双多晶自对准双极晶体管剂量率效应的影响".核技术 41.11(2018):48-52.

入库方式: OAI收割

来源:新疆理化技术研究所

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