偏置条件对国产SiGe BiCMOS器件总电离辐射效应的影响
文献类型:期刊论文
作者 | 王利斌; 王信; 吴雪; 李小龙; 刘默寒; 陆妩![]() |
刊名 | 辐射研究与辐射工艺学报
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出版日期 | 2020 |
卷号 | 38期号:5页码:64-70 |
关键词 | SiGe BiCMOS 偏置条件 电离总剂量 氧化物陷阱电荷 界面态 |
ISSN号 | 1000-3436 |
英文摘要 | 本文研究了1 Gy(Si)/s的高剂量率辐照下,偏置条件对国产0.35μm SiGe BiCMOS工艺器件电离总剂量(Total ionizing dose, TID)辐射效应的影响。结果表明:高剂量率辐照下,国产SiGe BiCMOS器件具有非常好的抗电离总剂量效应能力,可以达到数十千戈瑞,基极电流对辐射更敏感。不同偏置条件下,器件TID累积到12 kGy(Si)时,反偏损伤最大,零偏次之,正偏增益退化最小。发现其主要机制是高剂量率辐射及外加偏置引入的边缘电场影响氧化层中诱导氧化物陷阱电荷和界面态产生,导致基极辐射敏感区增大,基极电流增大,从而使器件增益减小。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.xjipc.cas.cn/handle/365002/7430] ![]() |
专题 | 新疆理化技术研究所_中国科学院特殊环境功能材料与器件重点试验室 |
通讯作者 | 陆妩 |
作者单位 | 1.模拟集成电路重点实验室 2.新疆电子信息材料与器件重点实验室 3.中国科学院新疆理化技术研究所中国科学院特殊环境功能材料与器件重点实验室 4.新疆大学物理科学与技术学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王利斌,王信,吴雪,等. 偏置条件对国产SiGe BiCMOS器件总电离辐射效应的影响[J]. 辐射研究与辐射工艺学报,2020,38(5):64-70. |
APA | 王利斌,王信,吴雪,李小龙,刘默寒,&陆妩.(2020).偏置条件对国产SiGe BiCMOS器件总电离辐射效应的影响.辐射研究与辐射工艺学报,38(5),64-70. |
MLA | 王利斌,et al."偏置条件对国产SiGe BiCMOS器件总电离辐射效应的影响".辐射研究与辐射工艺学报 38.5(2020):64-70. |
入库方式: OAI收割
来源:新疆理化技术研究所
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