本发明涉及一种反射式太赫兹时域近场扫描显微镜装置，属于太赫兹技术领域。该装置包括飞秒脉冲激光器、光纤耦合分束器、第一光纤、第二光纤、太赫兹发射和接收模块、延时线模块、可见光源、可见光显微镜、三维平移样品台、可调电压源、电流放大器、锁相放大器和控制电脑。太赫兹发射和接收模块包含太赫兹发射天线、太赫兹接收天线和激光耦合聚焦元件。该装置结构简单且精度高，克服了传统远场成像技术中分辨率较低的缺陷，该装置可获得微米级空间分辨率的太赫兹探测光谱与扫描图像。