极紫外投影光刻接触孔掩模的快速仿真计算
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹宇婷 ; 王向朝 ; 步扬 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 32期号:7页码:0705001-1-0705001-5 |
| 公开日期 | 2013-09-17 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/11324]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹宇婷,王向朝,步扬. 极紫外投影光刻接触孔掩模的快速仿真计算[J]. 光学学报,2012,32(7):0705001-1-0705001-5. |
| APA | 曹宇婷,王向朝,&步扬.(2012).极紫外投影光刻接触孔掩模的快速仿真计算.光学学报,32(7),0705001-1-0705001-5. |
| MLA | 曹宇婷,et al."极紫外投影光刻接触孔掩模的快速仿真计算".光学学报 32.7(2012):0705001-1-0705001-5. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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