Two-wavelength sinusoidal phase-modulating interferometer for nanometer accuracy measurement
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang Bofan ; Li Zhongliang ; Wang Xiangzhao |
| 刊名 | chinese optics letters
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 110期号:7 |
| 公开日期 | 2013-09-17 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/11333]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang Bofan,Li Zhongliang,Wang Xiangzhao. Two-wavelength sinusoidal phase-modulating interferometer for nanometer accuracy measurement[J]. chinese optics letters,2012,110(7). |
| APA | Wang Bofan,Li Zhongliang,&Wang Xiangzhao.(2012).Two-wavelength sinusoidal phase-modulating interferometer for nanometer accuracy measurement.chinese optics letters,110(7). |
| MLA | Wang Bofan,et al."Two-wavelength sinusoidal phase-modulating interferometer for nanometer accuracy measurement".chinese optics letters 110.7(2012). |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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