Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging
文献类型：期刊论文
| 作者 | Tu, YY (Tu, Yuanying) ; Wang, XZ (Wang, Xiangzhao) ; Li, SK (Li, Sikun) ; Cao, YT (Cao, Yuting) |
| 刊名 | optics letters
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 37期号:11 |
| 公开日期 | 2013-09-17 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/11334]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Tu, YY ,Wang, XZ ,Li, SK ,et al. Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging[J]. optics letters,2012,37(11). |
| APA | Tu, YY ,Wang, XZ ,Li, SK ,&Cao, YT .(2012).Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging.optics letters,37(11). |
| MLA | Tu, YY ,et al."Analytical approach to the impact of polarization aberration on lithographic imaging".optics letters 37.11(2012). |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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