新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究
文献类型：期刊论文
| 刊名 | 传感器与微系统
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 025 |
| 关键词 | 厚膜 电容式压力传感器 感压元件 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 其他题名 | Research on pressure sensitive component of novel thick film ceramic capacitive pressure sensor |
| 英文摘要 | 采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器，重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究。详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。试验结果表明：研制的感压元件性能良好，非线性误差低于1．0％，迟滞误差小于0．5％，测试电容和参考电容温度系数近乎一致。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2466703 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/69516]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究[J]. 传感器与微系统,2006,025. |
| APA | (2006).新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究.传感器与微系统,025. |
| MLA | "新型厚膜陶瓷电容式压力传感器感压元件研究".传感器与微系统 025(2006). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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