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沉积激光能量对CuAlO_2薄膜光学性质的影响

文献类型:期刊论文

刊名无机材料学报
出版日期2011
卷号026
关键词脉冲激光沉积 CuAlO2薄膜 光学带隙 室温光致发光谱
ISSN号1000-324X
其他题名Effect of Deposition Laser Energy on the Optical Properties of CuAlO_2 Films
英文摘要采用脉冲激光沉积法制备了CuAlO2薄膜.在沉积激光能量100~180mJ范围内原位沉积的薄膜并在N2气氛下900℃异位退火1h处理后,所有薄膜均为高度c轴取向的单相CuAlO2薄膜,晶粒尺寸~49nm.随着沉积激光能量的增大,薄膜厚度增加,表面颗粒尺寸明显增大,在可见光区的平均透射率下降.室温光致发光谱发现,CuAlO2薄膜在350nm附近有一个自由激子复合发光峰,说明在CuAlO2宽带隙半导体中存在直接带间跃迁,这对于该材料在光电子领域如发光二极管的应用具有重要意义.
语种中文
CSCD记录号CSCD:4157861
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/67925]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
. 沉积激光能量对CuAlO_2薄膜光学性质的影响[J]. 无机材料学报,2011,026.
APA (2011).沉积激光能量对CuAlO_2薄膜光学性质的影响.无机材料学报,026.
MLA "沉积激光能量对CuAlO_2薄膜光学性质的影响".无机材料学报 026(2011).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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