半导体/金属膜中分形形成的机制
文献类型:期刊论文
刊名 | 电子显微学报
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出版日期 | 1996 |
卷号 | 015 |
关键词 | 分形 晶化 薄膜 非晶半导体 金属膜 |
ISSN号 | 1000-6281 |
英文摘要 | 本文综述了半导体/金属膜中分形形成的若干机制。在二元共晶系中分形由金属诱导非晶态半导体晶化和二组元横向互扩散引起。在有中间相的二元系中存在界面反应过程和金属诱导晶化过程之间的竞争。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:334942 |
源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/67246] ![]() |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | . 半导体/金属膜中分形形成的机制[J]. 电子显微学报,1996,015. |
APA | (1996).半导体/金属膜中分形形成的机制.电子显微学报,015. |
MLA | "半导体/金属膜中分形形成的机制".电子显微学报 015(1996). |
入库方式: OAI收割
来源:合肥物质科学研究院
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