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半导体/金属膜中分形形成的机制

文献类型:期刊论文

刊名电子显微学报
出版日期1996
卷号015
关键词分形 晶化 薄膜 非晶半导体 金属膜
ISSN号1000-6281
英文摘要本文综述了半导体/金属膜中分形形成的若干机制。在二元共晶系中分形由金属诱导非晶态半导体晶化和二组元横向互扩散引起。在有中间相的二元系中存在界面反应过程和金属诱导晶化过程之间的竞争。
语种中文
CSCD记录号CSCD:334942
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/67246]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
. 半导体/金属膜中分形形成的机制[J]. 电子显微学报,1996,015.
APA (1996).半导体/金属膜中分形形成的机制.电子显微学报,015.
MLA "半导体/金属膜中分形形成的机制".电子显微学报 015(1996).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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