激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体
文献类型：期刊论文
| 刊名 | 光电子技术与信息
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 018 |
| 关键词 | 激光诱导化学气相合成 六甲基乙硅胺烷 氮化硅纳米粉体 |
| ISSN号 | 1006-1231 |
| 其他题名 | Preparation of Silicon Nitride Nano-powders with Laser Induced HMDS |
| 英文摘要 | 针对激光气相合成氮化硅纳米粉体的性能与成本的矛盾，在对激光合成反应物的研究与分析的基础上，选择廉价、无氯硫、对CO2激光有强吸收、易于处理的有机硅烷反应物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作为价格昂贵、难以处理的硅烷(SiH4)的替代反应物，进行了激光合成氮化硅纳米粉体的研究。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1981436 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/66367]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体[J]. 光电子技术与信息,2005,018. |
| APA | (2005).激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体.光电子技术与信息,018. |
| MLA | "激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体".光电子技术与信息 018(2005). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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