溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究
文献类型：期刊论文
| 刊名 | 量子电子学报
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| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 028 |
| 关键词 | 材料 光电特性 溶胶凝胶法 钼掺杂氧化锌 透明导电氧化物 |
| ISSN号 | 1007-5461 |
| 其他题名 | Characterization of Mo-doped ZnO thin films prepared by sol-gel method |
| 英文摘要 | 利用溶胶凝胶法在Al2O3衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌（MZO）透明导电薄膜,研究了,钼的掺杂量（0～1 at%）对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响。研究结果表明：所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构且表面平整、致密。通过高温真空退火,MZO薄膜的电阻率明显降低。且随着钼含量的增加,MZO薄膜的电阻率呈现出先减小后增大的趋势,当钼含量为0.4at%时,获得最小电阻率为0.13Ωcm。薄膜在近红外区域（800～2000 nm）的平均透过率大于85%,这可以有效地拓宽光电器件的光谱范围。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4177329 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/62052]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究[J]. 量子电子学报,2011,028. |
| APA | (2011).溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究.量子电子学报,028. |
| MLA | "溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究".量子电子学报 028(2011). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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