非金属掺杂类金刚石膜的研究进展
文献类型：期刊论文
| 刊名 | 激光与光电子学进展
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 046 |
| 关键词 | 薄膜 类金刚石膜 非金属掺杂类金刚石膜 保护膜 |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| 其他题名 | Research Progress of Nonmetal Doped Diamond-Like Carbon Films |
| 英文摘要 | 非金属掺杂类金刚石（DLC）膜可以优化纯类金刚石膜的—些性能。例如：掺磷DLC膜电阻率小，还可以明显提高其血液相容性；掺氮DLC膜不仅电阻率小，可作为半导体材料，还具有热稳定性好的优点，掺氟DLC膜在憎水性、耐蚀性、热稳定性和降低介电常数等方面更为优异；硅掺杂使膜中氧含量减少、内应力减少，粗糙度和摩擦系数降低，对非金属掺杂DLC膜的进展做了概括及分析，展现出其广泛的应用前景. |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3538087 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/61289]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 非金属掺杂类金刚石膜的研究进展[J]. 激光与光电子学进展,2009,046. |
| APA | (2009).非金属掺杂类金刚石膜的研究进展.激光与光电子学进展,046. |
| MLA | "非金属掺杂类金刚石膜的研究进展".激光与光电子学进展 046(2009). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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