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离子注入对纳米Si3N4结构的影响

文献类型:期刊论文

刊名无机材料学报
出版日期2001
卷号016
关键词量子限制效应 离子注入 纳米氮化硅 结构 荧光谱 光学性质
ISSN号1000-324X
英文摘要通过FT-IR、XPS格荧光光谱研究了离子注入对纳米Si3N4结构的影响,发现离子注入改变了材料中游离硅(a-Si)的结构,使其变成了SiNn(n-1,2),荧光谱研究表明纳米Si3N4具有明显的量子限制效应,并且荧光峰的位置和强度存在不稳定性,根据实验结果给出了纳米Si3N4的能级结构图。
语种中文
CSCD记录号CSCD:779645
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/60845]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
. 离子注入对纳米Si3N4结构的影响[J]. 无机材料学报,2001,016.
APA (2001).离子注入对纳米Si3N4结构的影响.无机材料学报,016.
MLA "离子注入对纳米Si3N4结构的影响".无机材料学报 016(2001).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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