离子注入对纳米Si3N4结构的影响
文献类型:期刊论文
刊名 | 无机材料学报
![]() |
出版日期 | 2001 |
卷号 | 016 |
关键词 | 量子限制效应 离子注入 纳米氮化硅 结构 荧光谱 光学性质 |
ISSN号 | 1000-324X |
英文摘要 | 通过FT-IR、XPS格荧光光谱研究了离子注入对纳米Si3N4结构的影响,发现离子注入改变了材料中游离硅(a-Si)的结构,使其变成了SiNn(n-1,2),荧光谱研究表明纳米Si3N4具有明显的量子限制效应,并且荧光峰的位置和强度存在不稳定性,根据实验结果给出了纳米Si3N4的能级结构图。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:779645 |
源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/60845] ![]() |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | . 离子注入对纳米Si3N4结构的影响[J]. 无机材料学报,2001,016. |
APA | (2001).离子注入对纳米Si3N4结构的影响.无机材料学报,016. |
MLA | "离子注入对纳米Si3N4结构的影响".无机材料学报 016(2001). |
入库方式: OAI收割
来源:合肥物质科学研究院
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。