射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量
文献类型：期刊论文
| 刊名 | 核聚变与等离子体物理
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| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 024 |
| 关键词 | 射频偏置 ECR-PECVD 双探针 电子温度 等离子体密度 微波功率 磁场电流 |
| ISSN号 | 0254-6086 |
| 其他题名 | Measurement of plasma parameters in rf-biased ECR-PECVD |
| 英文摘要 | 利用双探针对ECR-PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量。同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR-PECVD等离子体参数的影响。结果表明，在ECR-PECVD等离子体装置中，基片射频偏置对电子温度有影响，而等离子体密度主要由微波功率所决定。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1509104 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/60771]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量[J]. 核聚变与等离子体物理,2004,024. |
| APA | (2004).射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量.核聚变与等离子体物理,024. |
| MLA | "射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量".核聚变与等离子体物理 024(2004). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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