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AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量

文献类型:期刊论文

刊名光电子.激光
出版日期2010
卷号021
关键词脉冲激光沉积法(PLD) 类金刚石(DLC)膜 人工心脏机械瓣膜 氩离子轰击(AIB) 微观结构
ISSN号1005-0086
其他题名Argon ion bombardment to improve diamond-like carbon film deposited on mechanical heart valve by pulsed laser deposition
英文摘要用脉冲激光沉积(PLD)法在热解C制作的人工心脏机械瓣膜上沉积类金刚石(DLC)薄膜,并用3KeV的氩离子轰击(AIB)DLC薄膜。采用拉曼(Raman)光谱和X射线光电子能谱(XPS)分别对AIB前后的DLC薄膜进行检测分析,用光学显微镜观察AIB前后的DLC薄膜表面。实验结果表明:AIB不影响薄膜的黏附性。但是可以在一定程度上导致薄膜微观结构的变化和sp3/sp2比值的提高,可以在薄膜中掺杂微量的Ar元素,可以有效消除薄膜表面吸附的O,但对薄膜中C-O、C=O和COOH的影响较小。因此,离子轰击法可以作为一种改进类金刚石薄膜质量的方法。
语种中文
CSCD记录号CSCD:3901853
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/59439]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
. AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量[J]. 光电子.激光,2010,021.
APA (2010).AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量.光电子.激光,021.
MLA "AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量".光电子.激光 021(2010).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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