AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量
文献类型:期刊论文
刊名 | 光电子.激光
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出版日期 | 2010 |
卷号 | 021 |
关键词 | 脉冲激光沉积法(PLD) 类金刚石(DLC)膜 人工心脏机械瓣膜 氩离子轰击(AIB) 微观结构 |
ISSN号 | 1005-0086 |
其他题名 | Argon ion bombardment to improve diamond-like carbon film deposited on mechanical heart valve by pulsed laser deposition |
英文摘要 | 用脉冲激光沉积(PLD)法在热解C制作的人工心脏机械瓣膜上沉积类金刚石(DLC)薄膜,并用3KeV的氩离子轰击(AIB)DLC薄膜。采用拉曼(Raman)光谱和X射线光电子能谱(XPS)分别对AIB前后的DLC薄膜进行检测分析,用光学显微镜观察AIB前后的DLC薄膜表面。实验结果表明:AIB不影响薄膜的黏附性。但是可以在一定程度上导致薄膜微观结构的变化和sp3/sp2比值的提高,可以在薄膜中掺杂微量的Ar元素,可以有效消除薄膜表面吸附的O,但对薄膜中C-O、C=O和COOH的影响较小。因此,离子轰击法可以作为一种改进类金刚石薄膜质量的方法。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:3901853 |
源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/59439] ![]() |
专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | . AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量[J]. 光电子.激光,2010,021. |
APA | (2010).AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量.光电子.激光,021. |
MLA | "AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量".光电子.激光 021(2010). |
入库方式: OAI收割
来源:合肥物质科学研究院
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