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电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl)辐射的影响

文献类型:期刊论文

刊名真空科学与技术
出版日期2002
卷号022
关键词介质阻挡放电 准分子 XeCl 紫外灯 电源 气体放电 紫外辐射
ISSN号0253-9748
其他题名Influence of Power Supply on Excimer XeCl~* Emission Excited by Dielectric Barrier Discharge
英文摘要本文对电源参数如电压幅值,频率及正负电压对介质阻挡放电激发准分子XeCl紫外(308nm)辐射的影响进行实验研究,结果表明,UV辐射随电压幅度的增加而增加,但效率下降,提高频率,增加了放电次数,导致UV辐射的增强;此外,在较高的频率下,电压上升沿变陡,使得电子获得的能量主要用于原子的激发和电离,正、负电压放电的不对称源于电极结构的不对称而引起的放电过程的差异,负电压内电极可向放电管中馈入更多的能量;比较发光光谱可判断生成准分子的等离子体化学过程中没有明显的差别。
语种中文
CSCD记录号CSCD:1362719
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/58474]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
推荐引用方式
GB/T 7714
. 电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl)辐射的影响[J]. 真空科学与技术,2002,022.
APA (2002).电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl)辐射的影响.真空科学与技术,022.
MLA "电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl)辐射的影响".真空科学与技术 022(2002).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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